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Veröffentlichungsdatum: 26. Okt. 2022 Aktualisierungsdatum: 30. Jul. 2024

Nr. 6: Thermisches Radfahren

Was ist Thermocycling?

Abhängig von der spezifischen Ausrüstung kann das Innere der Halbleiterherstellungsausrüstung hohe Temperaturen von 500° bis 1000° erreichen.
Beispiele sind Ionengeneratoren in Ionenimplantationsgeräten, Lichtquellen in Lithografiegeräten usw.
Auch Beschichtungs- und Ätzanlagen können bei der Bearbeitung von Wafern Temperaturen von 200° bis 400° erreichen.

Die wiederholten Temperaturänderungen in Geräten dieser Art werden als Temperaturwechsel bezeichnet.
Visualisierung des Temperaturwechsels

NBK bietet Schrauben an, die für Hochtemperaturumgebungen und Temperaturwechsel geeignet sind.

<Hochtemperaturumgebungen>
Es sind Schrauben erhältlich, die Hochtemperaturumgebungen standhalten.
Materialien aus Wolfram und reinem Molybdän weisen hohe Schmelzpunkte auf (3683 °C für Wolfram, 2623 °C für reines Molybdän).
Wenden Sie sich für andere Materialien an unseren Kundenservice.
  SNCW_index  SNSI_ind SNSM_ind SICX-SX_index SCX-C_ind SPD-C_ind
Material Wolfram Tantal Inconel Reines Molybdän Siliziumkarbid (SiC) Al2O3 (99,5 % Aluminiumoxid) VESPEL SP-1
Teilname Maschinenschrauben mit Schlitz und Zylinderkopf (Wolfram) Innensechskantschrauben (Tantal) Innensechskantschraube -Inconel äquiv Innensechskantschrauben - Molybdän Linsenkopfschrauben mit Schlitz (Siliziumkarbid) Innensechskantschrauben aus Keramik Kunststoffschrauben - Innensechskantschrauben - VESPEL (Grad: SP-1)
Teilenummer SNCW SNSTA SNSI SNSM SICX-SX SCX-C SPD-C
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<Hochtemperatur- und Vakuumumgebungen>
Entgasungsbohrungen für Vakuumgeräte werden in hitzebeständige Materialien eingearbeitet.
  SVSI_index SVSM_index
Material Inconel Reines Molybdän
Teilname Innensechskantschrauben (Inconel-Äquiv.) Molybdän-Innensechskantschrauben mit Belüftungsloch
Teilenummer SVSI SVSM

<Vorbeugung gegen Festfressen>
Es sind Schrauben erhältlich, die gegen Abrieb und Festfressen in Temperaturwechselumgebungen beständig sind.
  SNSL-PN_ind SVSL-PN_index SNSS-MO_ind SNSS-RY_ind SNSS-TF_ind SNSS-AUS_ind SNSS-FC_ind
Material SUS316L SUS316L SUSXM7 (entspricht SUS304) SUSXM7 (entspricht SUS304) SUSXM7 (entspricht SUS304) SUSXM7 (entspricht SUS304) SUSXM7 (entspricht SUS304)
Teilname Innensechskantschrauben - SUS316L / Oberflächenhärtungsbehandlung Innensechskantkopf-Kopfschrauben mit Belüftungsloch / Oberflächenhärtungsbehandlung Innensechskantschrauben - MoS2-Beschichtung Innensechskantschrauben - Niedertemperatur Schwarz Chrom Innensechskantschrauben - PTFE-Beschichtung Innensechskantschrauben - Goldbeschichtung Innensechskantschrauben - Fluor-Beschichtung
Teilenummer SNSL-PN SVSL-PN SNSS-MO SNSS-RY SNSS-TF SNSS-AUS SNSS-FC
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<Lockerungsprävention>
Schrauben mit integrierter Unterlegscheibe sind erhältlich. Federscheiben werden verwendet, um die Wärmeausdehnung zu absorbieren und ein Lösen zu verhindern.
  SVSQS_ind  SVSQLG_index SNSQLG_index  
Material SUSXM7 (entspricht SUS304) SUS316L SUS316L SUSXM7 (entspricht SUS304) SUSXM7 (entspricht SUS304)
Teilname Innensechskantschrauben mit unverlierbarer Unterlegscheibe und Belüftungsloch Unterlegscheibe Integrierte Innensechskantschrauben mit Belüftungsloch - Hochfester Edelstahl Innensechskantschrauben mit integrierter Unterlegscheibe – hochfester Edelstahl Innensechskantschrauben mit unverlierbaren Unterlegscheiben (I=3) Kreuzschlitz-Flachkopf-Maschinenschrauben mit Kreuzschlitz und unverlierbaren Unterlegscheiben (I=3)
Teilenummer SVSQS SVGG SNSQLG SNSQS SNPI3S
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  SNSI3T    
Material TW340 (Titan Grad 2) Entspricht SUS304 Entspricht SUS304
Teilname Titan-Innensechskantschrauben mit unverlierbaren Unterlegscheiben (I=3) Sechskantschrauben mit unverlierbarer Unterlegscheibe (P=2) Sechskantschrauben mit unverlierbarer Unterlegscheibe (P=3)
Teilenummer SNSI3T SNHP2S SNHP3S
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Problemlösungsbeispiele nach Halbleiterfertigungsprozess

Problemlösungsbeispiele werden durch den Halbleiterherstellungsprozess eingeführt.
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"Die Halbleiterindustrie und NBK" Rückennummern

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Produkteinführung Problem / Fallstudien Verbesserte Produktivität / Verarbeitbarkeit Kompakt / platzsparend / leicht Hohe Festigkeit / hohe Steifigkeit Hitzebeständigkeit / Korrosionsbeständigkeit Reinraum / Vakuum / nicht magnetisch Geräte zur Herstellung von Halbleitern Die Halbleiterindustrie und NBK Kupplungen Spezialschrauben Maschinenelemente