Maßzeichnung
Einheit: mm
| Teilenummer | Bin gesund) Nominal des Gewindes |
Tonhöhe | H | D 1 | h | B | tB | Empfohlenes Drehmoment (N · m) |
SCAP Teilenummer | Masse (G) |
CAD Herunterladen |
RFQ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SCAP-3-CE | M5 | 0,5 | 6 | 9 | 2 | 7 | 3 | 0,1 | SNCPS-M3 | 1,2 | CAD | RFQ |
● Für Bestellungen, die mehrere Artikel derselben Größe enthalten, wird eine Batch-Reinraumverpackung bereitgestellt.
Nabeya Bi-Tech Kaisha
Kundendienst
Bitte geben Sie hier Fragen zu Anpassungen und anderen produktbezogenen Anfragen.
Hier finden Sie das AnfrageformularMaterial / Oberfläche
| SCAP-CE Abdeckkappen |
|
|---|---|
| Hauptkörper | Al 2 O 3 (99,5% Aluminiumoxid) |
Anwendung
Filmbildungsausrüstung, Ätzvorrichtungen, FPD-Produktionsausrüstung und HalbleitervorrichtungenCharakteristik
- SCAP- Abdeckkappe und SNCPS-Innensechskantschraube für Abdeckkappe kombinieren .
- Diese Kappen verhindern die Korrosion von Schraubenköpfen aufgrund der Verarbeitung von Gas und Plasma in der Vakuumkammer.
-
SCAP hat standardmäßig 2 Materialtypen.
SCAP-AL ---- Aluminiumlegierung
SCAP-CE ---- Keramik - Der Schraubverbindungsabschnitt besteht aus rostfreiem Stahl, daher hat dieses Produkt eine höhere Anzugfestigkeit als Aluminium- oder Keramikschrauben.
- Reinraumwaschen und Reinraumverpackungen sind abgeschlossen. ⇒ Reinraum-Wasch- / Reinraum-Verpackungsservice
- Andere angeforderte Materialien wie Inconel * 1 und Hastelloy * 1 können für Abdeckkappen verwendet werden.
* 1: Inconel ist eine eingetragene Marke der Special Metals Corporation.
* 1: Hastelloy ist eine eingetragene Marke von Haynes International, Inc.
Vorsichtsmaßnahmen für die Verwendung
Die Korrosionsbeständigkeit ändert sich abhängig von den Nutzungsbedingungen. Führen Sie die Tests immer unter den gleichen Bedingungen wie vor dem Gebrauch durch.Verwendung
Nach dem Anziehen der SNCPS-Innensechskantschraube für die Abdeckkappe muss die SCAP- Abdeckkappe so montiert werden, dass sie den Kopf der SNCPS abdeckt .Stellen Sie sicher, dass das Anzugsdrehmoment von SCAP nicht das empfohlene Drehmoment in der Tabelle überschreitet.
