Lösen häufiger Probleme mit Halbleiterfertigungsgeräten (Pre-Process)
In diesem Abschnitt werden Gegenmaßnahmen für die speziellen Umgebungen vorgestellt, die für Geräte zur Herstellung von Halbleitern erforderlich sind (Vorprozess), sowie Maßnahmen zur Verbesserung der Produktivität.