Veröffentlichungsdatum: 10. Mai 2020 Aktualisierungsdatum: 19. März 2024
Lösen häufiger Probleme mit Halbleiterfertigungsgeräten （Pre-Process）
Wafer-Reinigungsmaschinen
Reinigungsprozess
Bauteilkorrosionsschutz ist erforderlich
Es können Schrauben mit hervorragender chemischer Beständigkeit ausgewählt werden, um den Umgebungsbedingungen in Geräten zu widerstehen, in denen Chemikalien verwendet werden.
Erforderliche Eigenschaften für Spezialschrauben:Chemische Resistenz
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Chemische Resistenz |
Hitzebeständigkeit |
Nicht magnetisch |
Empfohlenes Produkt |
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|---|---|---|---|---|
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Harzschrauben |
○ |
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SUS316L Schrauben |
○ |
○ |
○ |
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Hastelloy-Schrauben |
○ |
○ |
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Keramikschrauben |
○ |
○ |
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Vespelschrauben |
○ |
○ |
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Schrauben mit PFA-Beschichtung für den Kopf |
○ |
Weitere Details zu chemikalienbeständigen Schrauben finden Sie hier▶
Oxidations-/Diffusionsausrüstung
Wärmebehandlung/Oxidation/Diffusionsprozess
Beständigkeit gegen hohe Temperaturen und Chemikalien ist erforderlich
Wählen Sie für Umgebungen, in denen verschiedene Gase bei hohen Temperaturen verwendet werden, Schrauben mit hervorragender Hitzebeständigkeit und chemischer Beständigkeit.
Erforderliche Eigenschaften für Spezialschrauben:Hitzebeständigkeit Chemische Resistenz
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Hitzebeständigkeit |
Chemische Resistenz |
Empfohlenes Produkt |
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|---|---|---|---|
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Inconel-Schrauben |
○ |
○ |
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Hastelloy-Schrauben |
○ |
○ |
Beschichter/Entwickler
Filmbildungsprozess
Verbesserte Produktionskapazität ist erforderlich
Verwenden Sie eine Kupplung mit hoher Steifigkeit für die Hochgeschwindigkeitsrotation, die für die Bildung des Fotolackfilms auf dem Wafer erforderlich ist.
Erforderliche Eigenschaften für Kupplungen:Hohe Steifigkeit
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Empfohlenes Produkt |
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|---|---|
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Scheibenkupplungen |
Bauteilkorrosionsschutz ist erforderlich
Es können Schrauben mit hervorragender chemischer Beständigkeit ausgewählt werden, um den Umgebungsbedingungen in Geräten zu widerstehen, in denen Chemikalien verwendet werden.
Erforderliche Eigenschaften für Spezialschrauben:Chemische Resistenz
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Hitzebeständigkeit |
Chemische Resistenz |
Empfohlenes Produkt |
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|---|---|---|---|
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Inconel-Schrauben |
○ |
○ |
Halbleiter-Lithographiegeräte
Fotolithografieverfahren
Verbesserte Gerätegenauigkeit ist erforderlich
Sogar die kleinen Schrauben, die an den Verbindungsstellen verwendet werden, ermöglichen eine Verbesserung der Belichtungsgenauigkeit, indem der Einfluss von Reflexionen unterdrückt wird.
Erforderliche Eigenschaften für Spezialschrauben:Antireflexion
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Antireflexion |
Chemische Resistenz |
Vorbeugung gegen Fressen/Festfressen |
Empfohlenes Produkt |
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|---|---|---|---|---|
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Schwarz verchromte Niedertemperaturschrauben |
○ |
○ |
○ |
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Schwarze Edelstahlschrauben |
○ |
Antireflex-Schrauben Siehe hier für weitere Details▶
Ätzgeräte
Ätzprozess
Beständigkeit gegen hohe Temperaturen und Chemikalien ist erforderlich
Wählen Sie für Umgebungen, in denen verschiedene Gase und Lösungsmittel bei hohen Temperaturen verwendet werden, Schrauben mit hervorragender Hitze- und Chemikalienbeständigkeit.
Erforderliche Eigenschaften für Spezialschrauben:Hitzebeständigkeit Chemische Resistenz
Hitzebeständigkeit |
Chemische Resistenz |
Vakuum |
Nicht magnetisch |
Hohe Festigkeit |
Leicht |
Prävention ergreifen |
Empfohlenes Produkt |
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Keramikschrauben |
○ | ○ |
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Schrauben mit keramischer Abdeckkappe |
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○ |
○ |
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Hastelloy-Schrauben |
○ |
○ |
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SUS316L Schrauben |
○ |
○ |
○ |
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Titan Schrauben |
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○ |
○ |
○ |
○ |
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Oberflächengehärtete Schrauben |
○ |
○ |
Chemikalienbeständige Schrauben▶
Motorschäden müssen verhindert werden
Als Gegenmaßnahme sind Komponenten mit ausgezeichneten Isoliereigenschaften erforderlich, um eine Erregung durch Vakuum-Variablenkondensatoren zu verhindern.
Erforderliche Eigenschaften für Kupplungen:Isolierende Eigenschaften
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Empfohlenes Produkt |
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|---|---|
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Kupplung für Vakuumpumpe |
Ausrüstung zur Ionenimplantation
Ionenimplantationsprozess
Verbesserter Vakuumgrad ist erforderlich
Der Vakuumgrad kann weiter verbessert werden, indem im Schraubenloch eingeschlossene Luft entfernt wird.
Erforderliche Eigenschaften für Spezialschrauben:Vakuum
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Vakuum |
Empfohlenes Produkt |
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|---|---|---|
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Schrauben mit Belüftungsloch |
○ |
Eine Schraube, die bei hohen Temperaturen nicht frisst, ist erforderlich
Wir haben Schrauben, die ein Festfressen aufgrund von Hitzezyklen in Umgebungen von 1000°C oder höher verhindern.
Erforderliche Eigenschaften für Spezialschrauben:Hitzebeständigkeit
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Hitzebeständigkeit |
Prävention ergreifen |
Empfohlenes Produkt |
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|---|---|---|---|
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Oberflächengehärtete Schrauben |
○ |
○ |
Verbesserte Gerätegenauigkeit ist erforderlich
Für die Befestigungselemente sollten nichtmagnetische Komponenten verwendet werden, um eine Ablenkung von Ionen aufgrund der magnetischen Eigenschaften des Teils zu verhindern.
Erforderliche Eigenschaften für Spezialschrauben:Nicht magnetisch
Nicht magnetisch |
Chemische Resistenz |
Hohe Festigkeit |
Leicht |
Empfohlenes Produkt |
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|---|---|---|---|---|---|
|
Schraube aus Phosphorbronze |
○ |
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Titanschraube |
○ |
○ |
○ |
○ |
Filmabscheidungsausrüstung/Sputterausrüstung
Filmbildungsprozess
Motorschäden müssen verhindert werden
Als Gegenmaßnahme sind Komponenten mit ausgezeichneten Isoliereigenschaften erforderlich, um eine Erregung durch Vakuum-Variablenkondensatoren zu verhindern.
Erforderliche Eigenschaften für Kupplungen:Isolierende Eigenschaften
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Empfohlenes Produkt |
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|---|---|
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Kupplungen für variable Vakuumkondensatoren Cap |
Beständigkeit gegen hohe Temperaturen und Chemikalien ist erforderlich
Wählen Sie für Umgebungen, in denen verschiedene Gase bei hohen Temperaturen verwendet werden, Schrauben mit hervorragender Hitzebeständigkeit und chemischer Beständigkeit.
Erforderliche Eigenschaften für Spezialschrauben:Hitzebeständigkeit Chemische Resistenz
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Hitzebeständigkeit |
Chemische Resistenz |
Nicht magnetisch |
Hohe Festigkeit |
Leicht |
Empfohlenes Produkt |
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|---|---|---|---|---|---|---|
|
Keramikschrauben |
○ |
○ |
||||
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SUS316L Schrauben |
○ |
○ |
○ |
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Molybdänschrauben |
○ |
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Hastelloy-Schrauben |
○ |
○ |
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Nickelschrauben |
○ |
○ |
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Inconel-Schrauben |
○ |
○ |
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Titan Schrauben |
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○ |
○ |
○ |
○ |
Chemikalienbeständige Schrauben▶
Verbesserter Vakuumgrad ist erforderlich
Der Vakuumgrad kann weiter verbessert werden, indem im Schraubenloch eingeschlossene Luft entfernt wird.
Erforderliche Eigenschaften für Spezialschrauben:Vakuum
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Vakuum |
Empfohlenes Produkt |
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|---|---|---|
|
Schrauben mit Belüftungsloch |
○ |
Physische Inspektionsausrüstung
Inspektions-/Bewertungsprozess
Verbesserter Vakuumgrad ist erforderlich
Der Vakuumgrad kann weiter verbessert werden, indem im Schraubenloch eingeschlossene Luft entfernt wird.
Erforderliche Eigenschaften für Spezialschrauben:Vakuum
|
Vakuum |
Empfohlenes Produkt |
|
|---|---|---|
|
Schrauben mit Belüftungsloch |
○ |
Erhöhte Inspektionsgenauigkeit ist erforderlich
Erforderliche Eigenschaften für Spezialschrauben:Nicht magnetisch
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Nicht magnetisch |
Hitzebeständigkeit |
Chemische Resistenz |
Hohe Festigkeit |
Leicht |
Empfohlenes Produkt |
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|---|---|---|---|---|---|---|
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Harzschrauben: PPS |
○ |
○ |
○ |
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Titan Schrauben |
○ |
|
○ |
○ |
○ |
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Phosphorbronze-Schrauben |
○ |
Weitere Informationen zu nichtmagnetischen Schrauben finden Sie hier▶
Gegenmaßnahmen gegen Schraubenlockerung und Verschmutzung sind erforderlich
Eine Reihe nicht magnetischer Innensechskantschrauben ist verfügbar.
Im Vergleich zu Schlitz- und Kreuzschlitz-Steckschlüsseln ist die Kappenform des Innensechskantkopfes weniger anfällig für Ausklinken und verhindert so wirksam Verunreinigungen.
Die hohe Festigkeit von Titan 64 ermöglicht außerdem das Anziehen mit höheren Drehmomenten und ist somit auch als Gegenmaßnahme gegen das Lösen wirksam.
Das Sortiment der 64 Innensechskantschrauben aus Titan und Phosphorbronze reicht von M2 aufwärts.
| Bild |  |
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| Teilname | Innensechskantschrauben - Hochintensive Titanlegierung |
Innensechskantschrauben - Phosphorbronze |
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| Teilenummer | SNSTG |
SNSP |
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| Material | 64 Titan | C5191 (Phosphorbronze) | ||
| Gewindegröße | M2～M10 | M2～M8 | ||
Elektrische Prüfgeräte
Inspektions-/Bewertungsprozess
Verbesserte Gerätegenauigkeit ist erforderlich
Realisiert eine noch größere Servomotorverstärkung, was zu einer kürzeren Stabilisierungszeit führt.
Erforderliche Eigenschaften für Antriebskomponenten:High-Gain-Unterstützung
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Empfohlenes Produkt |
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|---|---|
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Gummikupplungen mit hoher Verstärkung |
Kompaktere Ausrüstung ist erforderlich
Wir haben Schrauben mit kleinem Durchmesser von M2,6 und weniger, einschließlich S0,6 aufwärts und M1 aufwärts.
Erforderliche Eigenschaften für Spezialschrauben:Platzsparend
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Empfohlenes Produkt |
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|---|---|
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Miniaturschraube |
